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什么是光刻機(jī)？這種設(shè)備能不能運(yùn)用在微流控上面
2021-01-19
光刻機(jī)是芯片制造中光刻工藝中的關(guān)鍵設(shè)備,具有很高的技術(shù)含量和價(jià)值含量.光刻機(jī)需要許多先進(jìn)技術(shù),例如系統(tǒng)集成,精密光學(xué),精密運(yùn)動(dòng),精密材料傳輸,高精度微環(huán)境控制等等.它是所有半導(dǎo)體制造設(shè)備中技術(shù)最先進(jìn)的設(shè)備,因此單個(gè)值非常高.
激光:一種光源,是光刻機(jī)的關(guān)鍵設(shè)備之一.
光束對(duì)準(zhǔn)器:修改光束的入射方向,使激光束盡可能平行.
能量控制器:控制最終施加到硅上的能量,曝光不足或曝光不足會(huì)嚴(yán)重影響圖像質(zhì)量.
光束形狀設(shè)置:光束設(shè)置為具有不同的形狀,例如圓形和環(huán)形,并且不同的光束狀態(tài)具有不同的光學(xué)特性.
著色器:在不需要曝光時(shí)防止光束照射到晶圓上.
能量檢測(cè)器:檢測(cè)光束的最終入射能量是否滿足曝光要求,并將其提供回能量控制器進(jìn)行調(diào)整.
面罩:內(nèi)部裝有電路設(shè)計(jì)的玻璃板,價(jià)值數(shù)十萬美元.
掩模臺(tái):一種執(zhí)行標(biāo)線片運(yùn)動(dòng)的設(shè)備,其運(yùn)動(dòng)控制精度達(dá)到納米級(jí).
物鏡:物鏡由20多個(gè)透鏡組成,主要功能是減少掩模的示意圖,然后縮小到激光映射的硅片上,并且物鏡可以補(bǔ)償各種光學(xué)誤差.技術(shù)上的困難在于物鏡的設(shè)計(jì)和對(duì)高精度的要求.
測(cè)量表和曝光表:用于輸送硅晶片的工作臺(tái)典型的光刻機(jī)需要進(jìn)行測(cè)量和重新曝光,而只需要一個(gè)工作臺(tái)ASML的雙工作光刻機(jī)就可以實(shí)現(xiàn)一個(gè)硅晶片的曝光和另一個(gè)硅晶片的曝光.可以測(cè)量和對(duì)準(zhǔn)薄膜可以有效地提高工作效率.
內(nèi)部密封框架,減震器:將工作臺(tái)與外部環(huán)境隔離,使其平整,減少外部振動(dòng)干擾,保持穩(wěn)定的溫度和壓力.
光刻機(jī)的分類
平版印刷機(jī)通常根據(jù)操作的簡(jiǎn)單性分為三種類型:手動(dòng),半自動(dòng)和全自動(dòng).
手動(dòng):是指對(duì)齊調(diào)整方法,通過X軸,Y軸和下沉角度更改為手動(dòng)調(diào)整旋鈕,可以想象對(duì)齊精度.
B半自動(dòng):表示可以通過電軸根據(jù)CCD的位置調(diào)整對(duì)齊方式.
C自動(dòng):是指從印刷品上載和下載,曝光時(shí)間和曝光頻率由程序控制,自動(dòng)光刻機(jī)主要滿足工廠對(duì)生產(chǎn)量的需求.
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